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GAS Purifier & Filter

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UltraPure - PF Series
Model  600 Purifie

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최고의 입자 여과 기술과 가스 정화 기술을 결합한 제품입니다.
정화기/필터 조합은 기존의 인라인 정화기에 대한 비용 절감의 대체품으로 설계되었습니다. 대부분 PF series는 고급 금속 게터 기술과 0.003µm Nanometal 소결 스테인리스 스틸 필터 매체를 사용합니다. 표준 범위 0 ~ 1000 slpm의 모든 불활성 가스, 수소, 수소화합물, 산성가스 , 산소 등에서 sub-ppb 이하로 불순물 제거를 제공합니다.
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Temperature Purifier
Model Eliminator 600 CA

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모든 불활성 가스 (질소 , 아르곤 , 헬륨 , 크립톤 , 네온 및 제논)로 부터 실온
작동 시 기체불순물 (H20 ,O2 , CO , CO2 , H2 , NMHC`s)을 낮은 수준으로
줄입니다. Catalyst / Absorber (CA) Purifier는 < 1ppb 까지 불순물을 제거합니다. 표준 범위 0 ~ 2000slpm 이며, 일체형 입자 필터와 함께 사용할 수 있습니다. 설치가 용이하도록 차단 밸브가 포함되어 있습니다.​

Temperature Purifier ( Inert Gases )
Model Eliminator 600 CG

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Nupure의 EliminatorCG Purifier는 특허 받은 설계 및 프로세스를 사용하여
불활성 가스 (질소 또는 희석가스)를 최첨단 순도로 정화하도록 설계되었습니다. 모든 탄화수소 (메탄포함) 및 불활성 가스에서 발견되는 기타 모든 가스 불순물을 실온 작동을 사용하여 PPT 수준으로 제거합니다. 

Temperature Purifier 
Model Eliminator 600 CAG

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Nupure의 EliminatorCGA Purifier는 탄화수소를 포함하여 불순물당 0.5ppb 미만의 제거를 보장하는 새로운
특허받은 CAG (Catalyst / Adsorber / Getter) Purifier 기술을 사용합니다. XL 버전의 표준범위 0 ~ 300 slpm
고유량 작업에 ​적합합니다. 일체형 입자 필터와 차단 밸브가 있어 설치가 간편합니다.

Ceramic and MetalGas Particle Filters
Model 60 slpm Ceramic Filter

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광범위한 가스 정화 제품 라인 외에도 세라믹 및 금속 입자 필터의 광범위한 선택이 가능합니다. 초미세 여과 (0.003µm까지)는 반도체 산업 및 공정의 장비 
​제조업체에 Ultra Clean Gas를 제공하는 토탈 솔루션을 제공합니다.

OMNI Gas Purifier Systems

Model OMNI Series

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OMNI 제품은 UltraPure PF 또는 XL Series , 히터 , 단열재 및 전자 어셈블리를 사용하기 쉽고 컴팩트한 형태로
통합합니다. 단위, 인증된 온도 제어 장치 및 전자 장치는 간단한 작동과 신뢰성 및 안정성을 위해 설계되었습니다.

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