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GAS Purifier & Filter
UltraPure - PF Series
Model 600 Purifie
최고의 입자 여과 기술과 가스 정화 기술을 결합한 제품입니다.
정화기/필터 조합은 기존의 인라인 정화기에 대한 비용 절감의 대체품으로 설계되었습니다. 대부분 PF series는 고급 금속 게터 기술과 0.003µm Nanometal 소결 스테인리스 스틸 필터 매체를 사용합니다. 표준 범위 0 ~ 1000 slpm의 모든 불활성 가스, 수소, 수소화합물, 산성가스 , 산소 등에서 sub-ppb 이하로 불순물 제거를 제공합니다.
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Purifier / Particle Filter combination
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Improves equipment performance and process economy
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Sub-ppb removal of impurities from Inert Gases, Nitrogen, Hydrogen, Acid Gases, Oxygen and Hydride Specialty Gases
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Integral 0.003µm Sintered Stainless Steel Filter Media (9 log reduction)
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316L stainless steel (< 10Ra) or 316L VAR (< 5Ra) electropolished wetted surface finish
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Optional Hastelloy C-22 filter media / housing or Nickel filter media
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In-Situ regeneration and bakeable to 450o C
Temperature Purifier
Model Eliminator 600 CA
모든 불활성 가스 (질소 , 아르곤 , 헬륨 , 크립톤 , 네온 및 제논)로 부터 실온
작동 시 기체불순물 (H20 ,O2 , CO , CO2 , H2 , NMHC`s)을 낮은 수준으로
줄입니다. Catalyst / Absorber (CA) Purifier는 < 1ppb 까지 불순물을 제거합니다. 표준 범위 0 ~ 2000slpm 이며, 일체형 입자 필터와 함께 사용할 수 있습니다. 설치가 용이하도록 차단 밸브가 포함되어 있습니다.
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Removal of impurities to <1 ppb
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No heaters or power required
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Room-temperature operation
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316L SS (<10 Ra EP) vessel
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Factory regenerable for up 10 year life
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Field regenerable for up to 10 year life
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Improved process equipment perfomance
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Optional built-in 0.003 µm filter (PF type)
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High Flow - up to 2500 slpm
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Lowest cost (initial and operating)
Temperature Purifier ( Inert Gases )
Model Eliminator 600 CG
Nupure의 EliminatorCG Purifier는 특허 받은 설계 및 프로세스를 사용하여
불활성 가스 (질소 또는 희석가스)를 최첨단 순도로 정화하도록 설계되었습니다. 모든 탄화수소 (메탄포함) 및 불활성 가스에서 발견되는 기타 모든 가스
불순물을 실온 작동을 사용하여 PPT 수준으로 제거합니다.
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Outlet purity guarantee to < 0.5 ppb1
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Removes all hydrocarbons, including CH4
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No heaters or power required
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Room-temperature operation
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316L SS (<10 Ra EP) vessel
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Factory regenerable for up 10 year life
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Field regenerable for up to 10 year life
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Improved process equipment perfomance
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Optional built-in 0.003 µm filter (PF type)
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High Flow - up to 2500 slpm
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Lowest cost (initial and operating)
Temperature Purifier
Model Eliminator 600 CAG
Nupure의 EliminatorCGA Purifier는 탄화수소를 포함하여 불순물당 0.5ppb
미만의 제거를 보장하는 새로운 특허받은 CAG (Catalyst / Adsorber / Getter)
Purifier 기술을 사용합니다. XL 버전의 표준범위 0 ~ 300 slpm 고유량 작업에
적합합니다. 일체형 입자 필터와 차단 밸브가 있어 설치가 간편합니다.
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Outlet purity guarantee to < 0.5 ppb1
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No heaters or power required
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Room-temperature operation
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316L SS (<10 Ra EP) vessel life-no need for H2 in regenaration gas
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Field regenerable for up to 10 year life -
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Improved process equipment perfomance
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Optional built-in 0.003 µm filter (PF-Series)
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High Flow - up to 300 slpm
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Low cost (initial and operating)
Ceramic and MetalGas Particle Filters
Model 60 slpm Ceramic Filter
광범위한 가스 정화 제품 라인 외에도 세라믹 및 금속 입자 필터의 광범위한 선택이 가능합니다. 초미세 여과 (0.003µm까지)는 반도체 산업 및 공정의 장비
제조업체에 Ultra Clean Gas를 제공하는 토탈 솔루션을 제공합니다.
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Ultra fine filtration down to 0.003µm
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Particle retention up to 99.9999999% (9 log)
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Flow rates up to 360 slpm (at 5 atm operating)
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Inert and corrosive gas applications
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No shedding
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316L SS VAR (<5 Ra EP) surface finish
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Hastelloy C-22 housing for corrosive gases
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Bakeable 450o C (SS) / 200o C (Ceramic)
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Operation to 450o C (SS) / 120o C (Ceramic)
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High Pressure Rating (to 3000 psig)
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Leak rate tested to < 2 x 10-10 atm cc/sec He
OMNI Gas Purifier Systems
Model OMNI Series
OMNI 제품은 UltraPure PF 또는 XL Series , 히터 , 단열재 및 전자 어셈블리를
사용하기 쉽고 컴팩트한 형태로 통합합니다. 단위, 인증된 온도 제어 장치 및
전자 장치는 간단한 작동과 신뢰성 및 안정성을 위해 설계되었습니다.
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Integral purifier, heater, insulation and electronics assembly
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Compact Design
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Easy-to-use
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Sub ppb removal of impurities from Inert Gases, Hydrogen, Acid Gases and Oxygen.
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Certified temperature comtrol unit and electronics designed for simple operation, reliability and safety
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Continual heated operation or room temperature operation with convenient in-situ regeneration